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三、單槽式超聲波清洗機

OYA-1000微型系列超聲波清洗機

簡介: 適用于太陽能電池生產(chǎn)制造設(shè)備,包括硅料酸洗、硅片脫膠、腐蝕制絨、擴散前硅片清洗、去磷硅玻璃設(shè)備,以及硅片裝片機、插片機、檢測設(shè)備等。


應(yīng)用范圍:


1)主要用于單、多晶硅太陽能電池片生產(chǎn),擴散前的絨面腐蝕和清洗;


2)工藝流程:


上料→HF+HNO3腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮氣鼓泡+噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮 氣鼓泡+噴淋→下料→離心機甩干(離線);


3)設(shè)備采用龍門式機械手方式移動,其工藝時間可以自行調(diào)節(jié),酸堿槽具有自動補液裝置,可實現(xiàn)無間斷生產(chǎn)。能顯示溫度曲線、濃度變化曲線,及各個工位的工作狀態(tài)。具有設(shè)備報警說明,報警歷史查詢功能。對清洗用純水有電阻率監(jiān)測裝置,能存儲10個以上工藝方案;


4)標(biāo)準(zhǔn)工藝下產(chǎn)量:125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片,適用于投產(chǎn)厚 度為160±30~200±30微米的硅片,硅片產(chǎn)能不低于1200片/小時,設(shè)備開工率>92﹪,碎片率≤3‰。


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